最新讲话系列11303获奖教师代表路新春：在清华大学202x年教师节庆祝大会上的发言在清华大学202x年教师节庆祝大会上的发言获奖教师代表路新春（202x年9月10日）尊敬的各位老师、同学们：大家好！我来自机械系，高端装备界面科学与技术全国重点科学实“验室，很荣幸作为获奖代表发言，我发言的题目是自立自强，”持之以恒，服务国家重大需求。
“我们团队的成果集成电路化学机械抛光关键技术与装”备荣获202x年国家技术发明一等奖，化学机械抛光是集成电路制造的五大关键技术之一，难度极高。
早在20xx年我们团队就开始了抛光原理和工艺的研究，得到了国家自然科学基金、973等项目支持，从20xx年开始得到国家专项的支持，20xx年在清华大学和天津市支持下成立华海清科股份有限公司，开始了化学机械抛光装备产业化进程。
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